Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 28.04.2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0036-1860, 0091-3286, 1560-2303 KITopen-ID: 110100903 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | Optical engineering |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Band | 54 |
Seiten | 047105/1-7 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |