| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 110101392 |
| HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
| Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 25 |
| Heft | 7 |
| Seiten | Art. Nr. 075015 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |