Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110101393 |
HGF-Programm | 49.01.09 (POF III, LK 02) Laser Material Processing |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 21 |
Seiten | 1543-1549 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |