Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Jahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen ID: 110101393 |
HGF-Programm | 49.01.09; LK 02 |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Band | 21 |
Seiten | 1543-1549 |