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Development of low-cost material measures for calibration of the metrological characteristics of areal surface texture instruments

Leach, R.; Giusca, C.; Guttmann, M.; Jakobs, P.J.; Rubert, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/j.cirp.2015.03.002
ISSN: 0007-8506, 1726-0604
KITopen ID: 110101394
HGF-Programm 43.22.02; LK 01
Erschienen in CIRP annals, manufacturing technology
Band 64
Seiten 545-548
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