Development of low-cost material measures for calibration of the metrological characteristics of areal surface texture instruments
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0007-8506, 1726-0604 KITopen-ID: 110101394 |
| HGF-Programm | 43.22.02 (POF III, LK 01) Nanocatalysis |
| Erschienen in | CIRP annals, manufacturing technology |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 64 |
| Seiten | 545-548 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |