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Development of low-cost material measures for calibration of the metrological characteristics of areal surface texture instruments

Leach, R.; Giusca, C.; Guttmann, M. 1; Jakobs, P. J. 1; Rubert, P.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.cirp.2015.03.002
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Zitationen: 19
Web of Science
Zitationen: 14
Dimensions
Zitationen: 16
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0007-8506, 1726-0604
KITopen-ID: 110101394
HGF-Programm 43.22.02 (POF III, LK 01) Nanocatalysis
Erschienen in CIRP annals, manufacturing technology
Verlag Elsevier
Band 64
Seiten 545-548
Nachgewiesen in Web of Science
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