Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 110101809 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Journal of micromechanics and microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 25 |
Seiten | 065017/1-8 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |