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Soft X-ray emission spectroscopy used for the characterization of a-C and CNₓ thin films

Nepijko, S.A.; Chernenkaya, A.; Medjanik, K.; Chernov, S.V.; Klimenkov, M.; Vlasenko, O.V.; Petrovskaya, S.S.; Odnodvorets, L.V.; Zaulichnyy, Ya.V.; Schönhense, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110102089
HGF-Programm 31.40.03; LK 01
Erschienen in Thin Solid Films
Band 577
Seiten 109-113
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