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Soft X-ray emission spectroscopy used for the characterization of a-C and CNₓ thin films

Nepijko, S. A.; Chernenkaya, A.; Medjanik, K.; Chernov, S. V.; Klimenkov, M. 1; Vlasenko, O. V.; Petrovskaya, S. S.; Odnodvorets, L. V.; Zaulichnyy, Ya. V.; Schönhense, G.
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090, 1879-2731
KITopen-ID: 110102089
HGF-Programm 31.40.03 (POF III, LK 01) Materialentwicklung
Erschienen in Thin solid films
Verlag Elsevier
Band 577
Seiten 109-113
Vorab online veröffentlicht am 04.02.2015
Nachgewiesen in Scopus
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