Soft X-ray emission spectroscopy used for the characterization of a-C and CNₓ thin films
Nepijko, S. A.; Chernenkaya, A.; Medjanik, K.; Chernov, S. V.; Klimenkov, M.
1; Vlasenko, O. V.; Petrovskaya, S. S.; Odnodvorets, L. V.; Zaulichnyy, Ya. V.; Schönhense, G.
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Vlasenko, O. V.; Petrovskaya, S. S.; Odnodvorets, L. V.; Zaulichnyy, Ya. V.; Schönhense, G.1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0040-6090, 1879-2731 KITopen-ID: 110102089 |
| HGF-Programm | 31.40.03 (POF III, LK 01) Materialentwicklung |
| Erschienen in | Thin solid films |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 577 |
| Seiten | 109-113 |
| Vorab online veröffentlicht am | 04.02.2015 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |