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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.microrel.2015.06.106
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Zitationen: 4

Reliability of platinum electrodes and heating elements on SiO₂ insulation layers and membranes

Rusanov, R.; Rank, H.; Graf, J.; Fuchs, T.; Mueller-Fiedler, R.; Kraft, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110102527
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in Microelectronics Reliability
Band 55
Seiten 1920-1925
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