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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.microrel.2015.06.106
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Reliability of platinum electrodes and heating elements on SiO₂ insulation layers and membranes

Rusanov, R.; Rank, H.; Graf, J.; Fuchs, T.; Mueller-Fiedler, R.; Kraft, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0026-2714, 1872-941X
KITopen-ID: 110102527
HGF-Programm 43.12.01 (POF III, LK 01)
Erschienen in Microelectronics reliability
Band 55
Seiten 1920-1925
Nachgewiesen in Web of Science
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