Reliability of platinum electrodes and heating elements on SiO₂ insulation layers and membranes
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0026-2714, 1872-941X KITopen-ID: 110102527 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Microelectronics reliability |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 55 |
| Seiten | 1920-1925 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |