Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110102596 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optics Letters |
Band | 40 |
Seiten | 645-2648 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |