Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2045-2322 urn:nbn:de:swb:90-AAA1101026260 KITopen-ID: 110102626 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Scientific Reports |
Verlag | Nature Research |
Band | 5 |
Seiten | 11538/1-10 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |