Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2330-4022 KITopen-ID: 110102629 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | ACS photonics |
Verlag | American Chemical Society (ACS) |
Band | 2 |
Heft | 3 |
Seiten | 376-384 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |