Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0264-3820 KITopen-ID: 110102670 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Philosophical Transactions of the Royal Society A |
Verlag | The Royal Society |
Band | 373 |
Heft | 2049 |
Seiten | 20140357/1-20 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |