| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0264-3820 KITopen-ID: 110102670 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Philosophical Transactions of the Royal Society A |
| Verlag | The Royal Society |
| Band | 373 |
| Heft | 2049 |
| Seiten | 20140357/1-20 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Web of Science Scopus |