Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0163-1829, 0556-2805, 1050-2947, 1094-1622, 1095-3795, 1098-0121, 1538-4489, 1550-235X, 2469-9950 KITopen-ID: 110102785 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review / B |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 91 |
Seiten | 195304/1-11 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |