Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0370-1573, 1873-6270 KITopen-ID: 110102790 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physics reports |
Verlag | North-Holland Publishing |
Band | 594 |
Seiten | 1-60 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |