Zugehörige Institution(en) am KIT | IAP (IAP) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0370-1972, 1521-3951 KITopen-ID: 110102802 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physica status solidi / B |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 252 |
Heft | 7 |
Seiten | 1671-1674 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |