| Zugehörige Institution(en) am KIT | IAP (IAP) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0370-1972, 1521-3951 KITopen-ID: 110102802 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Physica status solidi / B |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 252 |
| Heft | 7 |
| Seiten | 1671-1674 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions Web of Science |