Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0027-8424, 1091-6490 KITopen-ID: 110102803 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America |
Verlag | National Academy of Sciences |
Band | 112 |
Heft | 16 |
Seiten | 4930-4934 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |