Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0003-6951 KITopen-ID: 110102836 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Applied Physics Letters |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 107 |
Heft | 4 |
Seiten | 041101/1-5 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |