Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1057-7157, 1941-0158 KITopen-ID: 110103015 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of microelectromechanical systems |
Verlag | IEEE Electron Devices Society |
Band | 24 |
Seiten | 781-789 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |