| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0003-6951 KITopen-ID: 110103063 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Applied Physics Letters |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 106 |
| Seiten | 133103/1-5 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science OpenAlex Scopus |