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A white-light interferometer as a gauge to measure the thickness of thin film : a practical extension of the phase method and correlogram summation

Kiselev, I.; Oberst, V.; Sysoev, V.V.; Breitmeier, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Energiespeichersysteme (IAM-ESS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0029-4780, 0150-536X, 0335-7368
KITopen ID: 110103255
HGF-Programm 47.02.08; LK 01
Erschienen in Journal of optics
Band 17
Heft 12
Seiten Art. Nr. 125616
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