KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

A white-light interferometer as a gauge to measure the thickness of thin film: a practical extension of the phase method and correlogram summation

Kiselev, I.; Oberst, V.; Sysoev, V.V.; Breitmeier, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Energiespeichersysteme (IAM-ESS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1088/2040-8978/17/12/125616
KITopen ID: 110103255
HGF-Programm 47.02.08; LK 01
Erschienen in Journal of Optics
Band 17
Seiten 125616/1-10
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page