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A white-light interferometer as a gauge to measure the thickness of thin film : a practical extension of the phase method and correlogram summation

Kiselev, I.; Oberst, V. 1; Sysoev, V. V.; Breitmeier, U.
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/2040-8978/17/12/125616
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Zitationen: 4
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Zitationen: 5
Dimensions
Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Energiespeichersysteme (IAM-ESS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0029-4780, 0150-536X, 0335-7368
KITopen-ID: 110103255
HGF-Programm 47.02.08 (POF III, LK 01) Zellpopul. Biofunk.Oberflächen IAM-ESS
Erschienen in Journal of optics
Verlag Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band 17
Heft 12
Seiten Art. Nr. 125616
Nachgewiesen in Dimensions
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