A white-light interferometer as a gauge to measure the thickness of thin film: a practical extension of the phase method and correlogram summation

Kiselev, I.; Oberst, V.; Sysoev, V.V.; Breitmeier, U.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien - Energiespeichersysteme (IAM-ESS)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Jahr	2015
Sprache	Englisch
Identifikator	DOI: 10.1088/2040-8978/17/12/125616 KITopen ID: 110103255
HGF-Programm	47.02.08; LK 01
Erschienen in	Journal of Optics
Band	17
Seiten	125616/1-10