A white-light interferometer as a gauge to measure the thickness of thin film : a practical extension of the phase method and correlogram summation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Energiespeichersysteme (IAM-ESS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Jahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0029-4780, 0150-536X, 0335-7368 KITopen ID: 110103255 |
| HGF-Programm | 47.02.08; LK 01 |
| Erschienen in | Journal of optics |
| Band | 17 |
| Heft | 12 |
| Seiten | Art. Nr. 125616 |