Development and characterization of ultra high aspect ratio microstructures made by ultra deep X-ray lithography
Nazmov, V. 1; Reznikova, E. 1; Mohr, J. 1; Schulz, J.
; Voigt, A.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
; Voigt, A.1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-0136, 1873-4774 KITopen-ID: 110103312 |
| HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
| Erschienen in | Journal of materials processing technology |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 225 |
| Seiten | 170-177 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |