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Relationship between zero-rate output and the MEMS element in a closed-loop system

Meyer, L.; Buhmann, A.; Meisel, D.C.; Korvink, J.G.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/JSEN.2015.2472998
Scopus
Zitationen: 3
Web of Science
Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1530-437X, 1558-1748
KITopen-ID: 110103367
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01)
Erschienen in IEEE sensors journal
Band 15
Heft 12
Seiten 7200-7207
Nachgewiesen in Web of Science
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