Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0740-2511, 1043-8092 KITopen-ID: 110103684 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Laser focus world |
Verlag | PennNET |
Band | 51 |
Heft | 5 |
Seiten | 47-50 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |
Nachgewiesen in | Web of Science |