| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0740-2511, 1043-8092 KITopen-ID: 110103684 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Laser focus world |
| Verlag | PennNET |
| Band | 51 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 47-50 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Nachgewiesen in | Web of Science |