Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0003-6951, 1077-3118, 1520-8842 KITopen-ID: 110103748 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Applied physics letters |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 107 |
Seiten | 211107/1-5 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |