Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1862-6300 KITopen-ID: 110103823 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physica status solidi (A) |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 212 |
Heft | 11 |
Seiten | 2385-2399 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |