| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1862-6300 KITopen-ID: 110103823 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Physica status solidi (A) |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 212 |
| Heft | 11 |
| Seiten | 2385-2399 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science OpenAlex |