Local strain and defects in silicon wafers due to nanoindentation revealed by full-field X-ray microdiffraction imaging
Li, Z. J.
1; Danilewsky, A. N.; Helfen, L. 1; Mikulik, P.; Haenschke, D. 1; Wittge, J.; allen, D.; McNally, P.; Baumbach, T. 1
1 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Danilewsky, A. N.; Helfen, L. 1; Mikulik, P.; Haenschke, D. 1; Wittge, J.; allen, D.; McNally, P.; Baumbach, T. 11 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA) Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0909-0495, 1600-5775 KITopen-ID: 110103995 |
| HGF-Programm | 56.03.20 (POF III, LK 01) Nanoscience a.Material f.Inform.Technol. |
| Weitere HGF-Programme | 54.01.01 (POF III, LK 01) ps- und fs-Strahlen |
| Erschienen in | Journal of synchrotron radiation |
| Verlag | International Union of Crystallography |
| Band | 22 |
| Seiten | 1083-1090 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |