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Mass loss by SU-8 polymer under X-ray irradiation

Nazmov, V. 1; Völker, A. 2; Fischböck, T. 2; Rothe, J. ORCID iD icon 3; Huttel, E. 2
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Nukleare Entsorgung (INE), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110104165
HGF-Programm 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics
Erschienen in Bulletin of the Russian Academy of Sciences
Band 79
Seiten 5-9
Nachgewiesen in Dimensions
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