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Mass loss by SU-8 polymer under X-ray irradiation

Nazmov, V.; Völker, A.; Fischböck, T.; Rothe, J.; Huttel, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.3103/S1062873815010232
KITopen ID: 110104165
HGF-Programm 43.23.02; LK 01
Erschienen in Bulletin of the Russian Academy of Sciences
Band 79
Seiten 5-9
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