A new hybrid micromachined contactless suspension with linear and angular positioning and adjustable dynamics
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1057-7157 KITopen-ID: 110104301 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Journal of Microelectromechanical Systems |
| Verlag | IEEE Electron Devices Society |
| Band | 24 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 1248-1250 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |