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A new hybrid micromachined contactless suspension with linear and angular positioning and adjustable dynamics

Poletkin, K.; Lu, Z.; Wallrabe, U.; Badilita, V. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/JMEMS.2015.2469211
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Zitationen: 18
Web of Science
Zitationen: 13
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Zitationen: 18
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1057-7157
KITopen-ID: 110104301
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in Journal of Microelectromechanical Systems
Verlag IEEE Electron Devices Society
Band 24
Heft 5
Seiten 1248-1250
Nachgewiesen in Web of Science
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