Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA114913 KITopen-ID: 11491 Reportnummer: KFK-4825 |
HGF-Programm | 16.02.01 (Vor POF, LK 01) |
Serie | KfK-Berichte ; 4825 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Prüfungsdaten | Diss. v. 18.10.1990 |