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Untersuchungen an mikrostrukturierten Bandpassfiltern fuer das ferne Infrarot und ihre Herstellung durch Roentgentiefenlithographie und Mikrogalvanoformung

Ruprecht, Robert; Bacher, Walter


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/11491
Veröffentlicht am 13.06.2018
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA114913
KITopen-ID: 11491
Reportnummer: KFK-4825
HGF-Programm 16.02.01 (Vor POF, LK 01)
Serie KfK-Berichte ; 4825
Art der Arbeit Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 18.10.1990
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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