| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA114913 KITopen-ID: 11491 Reportnummer: KFK-4825 |
| HGF-Programm | 16.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 4825 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 18.10.1990 |