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Mikrosystemtechnik fuer Ingenieure

Menz, Wolfgang; Bley, Peter


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 11493
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Weinheim 1993.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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