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Impurity Incorporation during rf Sputtering of Silicon Oxide Layers

Petersson, S.; Linker, G.; Meyer, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1972
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120006098
Erschienen in Physica status solidi (a)
Band 14
Seiten 605-11
Erscheinungsvermerk KFK-1525 (April 72 - April 73)
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