Depth profiling of oxygen in oxidized ceramic Si₃N₄ with the backscattering technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1978 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120012409 |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods |
| Band | 145 |
| Seiten | 347-51 |
| Erscheinungsvermerk | (1977) |