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Depth profiling of oxygen in oxidized ceramic Si₃N₄ with the backscattering technique

Lombaard, J.M.; Meyer, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1978
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120012409
Erschienen in Nuclear Instruments and Methods
Band 145
Seiten 347-51
Erscheinungsvermerk (1977)
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