Supersaturated Si-As alloy formation by ion implantation and pulsed electron beam annealing
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1982 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120017321 |
| Erschienen in | Applied Physics |
| Band | 28 |
| Seiten | 99-102 |