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Supersaturated Si-As alloy formation by ion implantation and pulsed electron beam annealing

Turos, A.; Meyer, O.; Geerk, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1982
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120017321
Erschienen in Applied Physics
Band 28
Seiten 99-102
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