An automatic X-Y scanning controller for laser annealing of ion-implanted semiconductors
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1982 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120017955 |
| Erschienen in | Journal of Physics E |
| Band | 15 |
| Seiten | 705-07 |