A simple target holder for rf sputtering of non-machinable material
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1982 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120017956 |
| Erschienen in | Vacuum |
| Band | 32 |
| Seiten | 363-65 |