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A simple target holder for rf sputtering of non-machinable material

Lue, J.T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1982
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120017956
Erschienen in Vacuum
Band 32
Seiten 363-65
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