A multichannel flash tube implemented for large area annealing of ion implanted semiconductors
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1983 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120018565 |
| Erschienen in | Vacuum |
| Band | 32 |
| Seiten | 713-18 |
| Erscheinungsvermerk | (1982) |