Amorphization of niobium layers by phosphorus ion implantation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1983 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120018633 |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods |
| Seiten | 969-74 |
| Erscheinungsvermerk | Biasse, B.; Destefanis, G.; Gaillard, J.P. [Hrsg.] Proc.of the 3rd Internat.Conf.on Ion Beam Modification of Materials, Grenoble, F, September 6-10, 1983, 209/210(1983) Part II |