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Oxidation mechanism of porous silicon nitride

Porz, F.; Thuemmler, F.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1984
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120019927
Erschienen in Journal of Materials Science
Band 19
Seiten 1283-95
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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