Application of ion beam techniques for amorphization and analysis of thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1986 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120021446 |
| Band | 36 |
| Erscheinungsvermerk | Guldan, A. [Hrsg.] Proc.of the 7th Czechoslovak Conf.on Vacuum Physics, Bratislava, CS, September 3-6, 1985 Part I S.683-723 Bratislava: Slovak Academy of Sciences 1985 Vacuum, S.493-501 |