Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1986 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120023098 |
Erschienen in | Microelectronic Engineering |
Band | 4 |
Seiten | 35-56 |