Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding (LIGA process)

Becker, E. W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Muenchmeyer, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1986
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120023098
Erschienen in	Microelectronic Engineering
Band	4
Seiten	35-56