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Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding (LIGA process)

Becker, E.W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1986
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120023098
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 4
Seiten 35-56
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