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Texturabbau von NbN-Sputterschichten durch Ar⁺⁺-Bestrahlung mit Stoerung der Grenzflaeche Substrat-Sputterschicht

Jung, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1986
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120023669
Erschienen in Zeitschrift für Kristallographie
Band 174
Seiten 107-09
Erscheinungsvermerk Diskussionstagung der AG Kristallographie, Giessen, 10.-12.Maerz 1986
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