Texturabbau von NbN-Sputterschichten durch Ar⁺⁺-Bestrahlung mit Stoerung der Grenzflaeche Substrat-Sputterschicht
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1986 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120023669 |
| Erschienen in | Zeitschrift für Kristallographie |
| Band | 174 |
| Seiten | 107-09 |
| Erscheinungsvermerk | Diskussionstagung der AG Kristallographie, Giessen, 10.-12.Maerz 1986 |