On damage and nucleation in sputtering of MgO and NbN

Hedbabny, H. J.; Darlinski, A.; Halbritter, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Kernphysik (IK)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1987
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120025013
Erschienen in	Materials Letters
Band	5
Seiten	337-44