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Das LIGA-Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturkoerpern mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe

Ehrfeld, W.; Becker, E. W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1987
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120025346
Erschienen in KfK-Nachrichten
Band 19
Seiten 167-79
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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