Das LIGA-Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturkoerpern mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120025346 |
| Erschienen in | KfK-Nachrichten |
| Band | 19 |
| Seiten | 167-79 |