Entwurf einer kompakten Sychrotronstrahlungsquelle fuer die Roentgentiefenlithographie

Krevet, B.; Moser, H. O.; Hagena, O. F.; Henkes, P. R. W.; Klingelhoefer, R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1987
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 120025348
Erschienen in	KfK-Nachrichten
Band	19
Seiten	192-99