Fotolithographie behauptet sich
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Koordinationsstelle Technologietransfer (TT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120025442 |
| Erschienen in | VDI-Nachrichten |
| Heft | 49 |
| Seiten | 20 |
| Erscheinungsvermerk | (1987) |