| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120025869 |
| HGF-Programm | 13.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods B |
| Seiten | 917-22 |
| Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Conf.on Ion Implantation Technology, Kyoto, J, June 7-10, 1988, 37/38(1989) |