Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1989 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120025869 |
HGF-Programm | 13.03.02 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods B |
Seiten | 917-22 |
Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Conf.on Ion Implantation Technology, Kyoto, J, June 7-10, 1988, 37/38(1989) |