Das LIGA-Verfahren. Mikrofertigung durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanofromung und Kunststoffabformung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120026030 |
| Erschienen in | Physikalische Blätter |
| Band | 44 |
| Seiten | 166-70 |