Galvanoformung von Absorberstrukturen aus Gold auf Masken fuer die Roentgenlithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120026031 |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 79 |
| Seiten | 1101-06 |