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Modification of oxide films by ion implantation: TiO₂-films modified by Ti⁺ and O⁺ as example

Schultze, J. W.; Elfenthal, L.; Leitner, K.; Meyer, O.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1988
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120026443
Erschienen in Electrochimica Acta
Band 33
Seiten 911-25
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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