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Milling and drilling using CO₂-clusters

Henkes, P.R.W.; Klingelhoefer, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1989
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120026706
HGF-Programm 16.01.03; LK 01
Erschienen in Journal de Physique
Band 50
Seiten C2/159-C2
Erscheinungsvermerk 2nd Internat.Workshop on MeV and KeV Ion Cluster Interactions with Surfaces, Orsay, F, September 5-8, 1988, Colloque C2, Suppl.au n⁰ 2, /161
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