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Microactuators in LIGA technique

Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120030292
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erschienen in International Journal of Applied Electromagnetics in Materials
Band 2
Seiten 281-84
Erscheinungsvermerk Proc. of the 3rd Internat.ISEM Symp.on the Application of Electromagnetic Forces, Sendai, J, January 28-30, 1991, (Elsevier Studies in Applied Electromagnetics in Materials ; 1)
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